高世代面板AOI检测平台

至2019年，中国大陆地区占全球显示面板产能的近40%。但是，占总设备投资75%的Array段制程设备几乎由日本、韩国和美国垄断，光学自动检测设备(AOI)是大尺寸面板Array段制程的核心设备之一，直接决定了产品的良率。其主要用途是对制程中的各类像素缺陷、mask缺陷、线缺陷和异物缺陷等进行检测，并提供缺陷准确位置、尺寸、种类等信息，以改进工艺和指导缺陷修复，进而提高产品良率。面板的多层膜结构和Array制程的复杂工艺造成待检基板纹理复杂，且存在大量近透明、低对比度微小缺陷，这给缺陷检测带来极大困难和挑战。

自动光学检测系统基于光学成像与图像传感技术获取待检对象信息，通过各种智能处理算法完成图像处理、特征提取、信息分类等功能，并将检测结果反馈上抛。一个完整的自动光学检测系统包括光学传感模块、精密运动控制模块及检测算法处理模块，模块间相互配合完成检测功能。