晶圆自动光学检测（AOI）运动系统

YMAO450-SY

1. Z轴采用气缸进行重力补偿；
2. 生产周期较短。

轴	X	Y	Z	T
行程	450mm	450mm	30mm	360°
最大速度	800mm/s	800mm/s	50mm/s	720°/s
最大加速度	10m/s²	10m/s²	2m/s²	1,500°/s²
定位精度 (calibration value）	±2.5μm	±2.5μm	±0.5μm	±2 arcsec
重复定位精度 (Bidirectional repeatability)	±0.5μm	±0.5μm	±0.2μm	±1 arcsec
直线度	±2.5μm	±2.5μm	±2.5μm	NA
平面度	±2.5μm	±2.5μm	±2.5μm	NA
俯仰/Pitch	±5 arcsec	±5 arcsec	±5 arcsec	NA
偏摆/Yaw	±5 arcsec	±5 arcsec	±5 arcsec	NA

XYT400-FP

1. 采用集成式ZT轴，垂向磁浮重力补偿，实现高定位精度；
2. 机械导轨与气浮导轨的复合应用；
3. 搭配主动避震。

轴	X	Y	Z	T
行程	320mm	550mm	8mm	360°
最大速度	1,200mm/s	1,200mm/s	100mm/s	900°/s
最大加速度	12m/s²	12m/s²	2m/s²	6,280°/s²
定位精度 (calibration value）	±1μm	±1μm	±0.6μm	±3 arcsec
重复定位精度 (Bidirectional repeatability)	±0.4μm	±0.4μm	±0.3μm	±2 arcsec
直线度	±2μm	±1.5μm	±1μm	NA
平面度	±3μm	±3μm	NA	NA

XYT500-FP

1. 采用集成式ZT轴，垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度；
2. T轴360°旋转，无管路缠绕。

轴	X	Y	Z	T
行程	400mm	390mm	25mm	360°
最大速度	1,000mm/s	1,000mm/s	100mm/s	300°/s
最大加速度	10m/s²	10m/s²	2m/s²	850°/s²
定位精度 (calibration value）	±1μm	±1μm	±1μm	±0.75 arcsec
重复定位精度 (Bidirectional repeatability)	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm	±0.5 arcsec
直线度	±2.5μm	±2.5μm	±2.5μm	NA
平面度	±2.5μm	±2.5μm	NA	NA
俯仰/Pitch	±10 arcsec	±10 arcsec	NA	NA
偏摆/Yaw	±10 arcsec	±10 arcsec	NA	NA

XYT700-LP

1. 采用气浮导轨XY轴H型堆叠，降低重心高度更好抑制晃动保证机台稳定性；
2. 刚度高，可承受大载荷和冲击力；
3. 气浮导轨表面研磨抛光，无接触式运动几乎无摩擦力，更好保证定位精度。

轴	X	Y	Z	T
行程	680mm	680mm	20mm	30°
最大速度	1,000mm/s	1,000mm/s	100mm/s	600°/s
最大加速度	10m/s²	10m/s²	5m/s²	1,500°/s²
定位精度 (calibration value）	±1μm	±1μm	±1μm	±1.5 arcsec
重复定位精度 (Bidirectional repeatability)	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm	±0.5 arcsec
直线度	±1μm	±1μm	NA	NA
平面度	±1.5μm	±1.5μm	NA	NA
俯仰/Pitch	±2.5 arcsec	±2.5 arcsec	NA	NA
偏摆/Yaw	±2.5 arcsec	±2.5 arcsec	NA	NA