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半导体晶圆自动光学检测（AOI）运动系统是半导体制造过程中的核心检测装备，主要用于晶圆表面缺陷的高精度、高效率检测。
AOI检测运动系统用于面板制程缺陷检测，提升显示面板良率与生产效率。
AOI检测运动系统用于新能源电池高精度缺陷检测与工艺优化。
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