面板涂布系统
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气浮平台(8G)

Air-floating Stage (8G)

气浮微动台

Air Floating Plate

精密搬送用Plate(PVType)比普通搬送用(PA type)悬浮量小,抖动小稳定用于精密运输的Plate(PVType),由于供应的空气被困在产品内部的现象较少,因此可以保持平坦的玻璃截面的形状。

我司的Test bench和Tcst图片

Type1.用于精密运输(PV可与检查区域对应的精密搬送)

用于精密搬送(PV)的Air FloatingPlate测试示例

移动速度:500mm/s,Air+Vac。供应Glass

Size:1500mm*1300mm

-平均浮起量:224um,(Max-Min.):20um

-抖动(玻璃):±1.5微米以下

Type2.一般搬送(PA适合)一般搬送

适用于一般搬送(PA)的Air Floating Plate测试示例

-移动速度:500mm/s,仅限Air,Glass

Size:1500mm*1300mm

-平均浮起量:286 um,(Max-Min.):35 um

-抖动(玻璃):士30微米以下

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