Air-floating Stage (8G)
Air Floating Plate
精密搬送用Plate(PVType)比普通搬送用(PA type)悬浮量小,抖动小稳定用于精密运输的Plate(PVType),由于供应的空气被困在产品内部的现象较少,因此可以保持平坦的玻璃截面的形状。
我司的Test bench和Tcst图片
用于精密搬送(PV)的Air FloatingPlate测试示例
移动速度:500mm/s,Air+Vac。供应Glass
Size:1500mm*1300mm
-平均浮起量:224um,(Max-Min.):20um
-抖动(玻璃):±1.5微米以下
适用于一般搬送(PA)的Air Floating Plate测试示例
-移动速度:500mm/s,仅限Air,Glass
Size:1500mm*1300mm
-平均浮起量:286 um,(Max-Min.):35 um
-抖动(玻璃):士30微米以下